一、线概述 在真空体系中用来改动气流方向调理气流量巨细堵截或接通管路的真空体系元件称为真空阀门。 真空阀门在真空体系中的效果是 (1)开关气路 如图 1 所示当阀 1 和阀 4 封闭阀 2 翻开时机械真空泵Ⅲ对容器 I 抽真空气流流经预线 翻开时机械泵可独自对分散泵抽线 一起翻开时分散泵和机械泵可一起作业对容器进行抽暇此刻气流流经分散泵。可见阀门在这种操作中的效果是开关气路改动气流的流经 道路)操控气流巨细调理真空度在...

  一、线概述 在真空体系中用来改动气流方向调理气流量巨细堵截或接通管路的真空体系元件称为真空阀门。 真空阀门在真空体系中的效果是 (1)开关气路 如图 1 所示当阀 1 和阀 4 封闭阀 2 翻开时机械真空泵Ⅲ对容器 I 抽真空气流流经预线 翻开时机械泵可独自对分散泵抽线 一起翻开时分散泵和机械泵可一起作业对容器进行抽暇此刻气流流经分散泵。可见阀门在这种操作中的效果是开关气路改动气流的流经 道路)操控气流巨细调理线 的阀盖敞开视点即可调理流经管路的气流量巨细封闭阀 2 和阀 4经过放气阀 3 能够给机械泵Ⅲ的进口放成大气经过放气阀 5 能调理容器内的线 所示 在玻璃阀的柱塞上有个必定体积的小洞 当小洞转向右边和高压气瓶连通时 小洞中就可充溢高压气体 当它转向左面和真空容器连通时就把该体积的高压气体放进容器中去这样就起到了定量充气的效果。 真空阀门的品种十分之多一般按阀门的功能、结构型式、驱动办法、资料和用处进行分类其分类见表 1。 真空阀门的类型编制办法国家专业规范作了规则可查阅有关规范。 表 1 真空阀门分类 分类办法 名 称 依据阀门的功能 低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门 按照结构塑式 挡板阀、翻板阀碟阀、隔板阀、闸阀、针阀、插板阀

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